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화학 조성분석에 매우 효과적으로 이용된다.doc 주사전자 현미경.doc (Down).doc.. , 또는 이들의 복합체의 형상과 구조에 대한 보다 정확한 이해가 필요하게 되었다. . . 이 전자현미경은 현재의 투과전자현미경(TEM)의 기초가 되었으며, 금속, 입자 형태 등의 영상을 육안으로 관찰하는 것과 같이 보여준다. - Topography- 물체 표면의 형상 - Morphology- 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기 - Composition- 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 조성과의 관계를 규명 - Crystallographic Information- 재료 내 원자들의 배열상태 주사전자현미경의 기원 재료의 미세구조를 연구하는데 사용되는 광학현미경은 가시광선을 사용하여 영상을 형성하기 때문에 1000배 정도의 배율과 0. 또한 X선 분석장치를 부착하여 시료의 결정구조, 전자회로상의 기술적 난점 때문에 주사전자현미경(SEM)은 이보다 늦은 1942년에 Zworykin에 의해 개발되었으며, 1965년에 첫번째 상업용 기기(Cambridge Scientific Instrument  ......

 

 

Index & Contents

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주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy)

기술의 진보와 함께 보다 미세 구조의 유기물, 무기물, 금속, 또는 이들의 복합체의 형상과 구조에 대한 보다 정확한 이해가 필요하게 되었다. 주사전자현미경은(SEM)은 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다.

주사전자현미경은 해상도가 10~30에 이르는 고분해능 기기이며, 시료의 3차원적인 영상관찰이 쉬워 시료의 곡면, 단면, 입자 형태 등의 영상을 육안으로 관찰하는 것과 같이 보여준다. 또한 X선 분석장치를 부착하여 시료의 결정구조, 화학 조성분석에 매우 효과적으로 이용된다.

 

전자현미경

전자 현미경은 아주 에너지가 큰 전자빔을 이용하여 미세구조의 물체를 분석하는 기기로서 다음과 같은 정보들을 얻을 수 있다.

- Topography- 물체 표면의 형상

- Morphology- 물체를 구성하는 입자들의 형상과 크기

- Composition- 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 조성과의 관계를 규명

- Crystallographic Information- 재료 내 원자들의 배열상태

 

주사전자현미경의 기원

재료의 미세구조를 연구하는데 사용되는 광학현미경은 가시광선을 사용하여 영상을 형성하기 때문에 1000배 정도의 배율과 0.2 m정도의 분해능이 한계였다. 보다 미세한 구조에 대한 정확한 이해의 필요성이 전자 현미경을 탄생시키게 되었다.

1931년에 독일 과학자 Max Knoll과 Ernst Ruska가 광학현미경과 같은 구조의 현미경에 광원으로 가시광선 대신 전자빔을 사용한 것이 전자현미경의 효시이다. 이 전자현미경은 현재의 투과전자현미경(TEM)의 기초가 되었으며, 전자회로상의 기술적 난점 때문에 주사전자현미경(SEM)은 이보다 늦은 1942년에 Zworykin에 의해 개발되었으며, 1965년에 첫번째 상업용 기기(Cambridge Scientific Instrument Mark I)가 시판되었다. 이 첫번째 상업용 주사전사현미경의 분해능은 25nm로 매우 획기적인 것이었다.

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